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    精密旋轉涂膜機的主要特點介紹

    日期:2021-12-02 15:04
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    摘要:
        精密旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。設備標配兩個不同大小的真空吸盤,可根據樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。

    主要特點

        1、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。

        2、真空度可以達到-0.08MPa。

        3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。

        4、根據樣件規格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。

        5、電機采用24V直流無刷電機,無級調速,可靠性高,適應性強,維修與保養簡單,噪音低,震動小,運轉平穩,啟動快速穩定,加速后運行平穩,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

        6、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。

        7、腔體采用聚丙烯材質,使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能;機身采用鑄鋁結構,結實耐用且質輕。

        8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進行涂層。

        9、全英文操作系統。

        10、具有開蓋保護功能,當涂膜過程中或涂膜結束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止。

        11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機控制系統,數值顯示更直觀可靠。

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