• 產品詳情
    • 產品名稱:單靶直流磁控濺射鍍膜儀

    • 產品型號:CY-MSP300S-DC
    • 產品廠商:泰諾
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    簡單介紹:
    單靶直流磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備,特別適用于實驗室研究固態電解質及OLED等
    詳情介紹:

    單靶直流磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有標準化、模塊化、可定制化的特點。磁控靶有1英寸2英寸3英寸可以選擇,客戶可以根據所鍍基板的大小自主選擇;所配電源為1500W大功率直流電源,可用于高能量的金屬濺射鍍膜,根據實驗需求也可以選配其他規格的直流或者射頻電源來實現各種材料的鍍膜操作。

     單靶直流磁控濺射鍍膜儀

    鍍膜儀具有兩路高精度質量流量計,客戶若另有需求可以定制至多四路質量流量計的氣路,以滿足復雜的氣體環境構建需求;儀器標配先進的渦輪分子泵組,極限真空可達1.0E-5Pa,同時另有其他類型的分子泵可供選購。分子泵的氣路由多個電磁閥控制,可以實現在不關泵的情況下打開腔體取出樣品,大大提高了您的工作效率。本產品可以選配一體機工控電腦對系統進行控制,在電腦程序上可以實現真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數功能,可以進一步提高您的實驗效率。

    單靶磁控濺射鍍膜儀適用范圍:

    該設備可用于制備單層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備,特別適用于實驗室研究固態電解質及OLED等。

    單靶磁控濺射鍍膜儀技術參數:

    單靶直流磁控濺射鍍膜儀

    外形尺寸

    φ185mm

    加熱范圍

    室溫500

    可調轉速

    1-20rpm可調

    靶材平面

    圓形平面靶

    濺射真空

    10Pa0.2Pa

    靶材直徑

    5050.8mm

    靶材厚度

    25mm

    絕緣電壓

    >2000V

    電纜規格

    SL-16

    靶頭溫度

    65

    內壁處理

    電解拋光

    腔體尺寸

    φ300mm × 300mm

    腔體材料

    304不銹鋼

    觀察窗口

    石英窗口,直徑φ100mm

    開啟方式

    上頂開啟,氣缸輔助支撐

    流量控制

    質量流量計,量程0200SCCM氬氣

    調節閥類型

    電磁調節閥

    調節閥靜止狀態

    常閉

    測量線性度

    ±1.5%F.S

    測量重復精度

    ±0.2%F.S

    測量響應時間

    8秒(T95

    工作壓差范圍

    0.3MPa

    閥體耐壓

    3MPa

    工作環境溫度

    545)℃

    閥體材料

    不銹鋼316L

    閥體漏率

    1×10-8Pa.m3/s

    管道接頭

    1/4″卡套接頭

    輸入輸出信號

    05V

    供電電源

    ±15V(±5%)(+15V  50mA,  15V  200mA

    外形尺寸mm

    130(寬)×102(高)×28(厚)

    通訊接口

    RS485 MODBUS協議

    直流電源

    電源功率

    500W

    輸出電壓

    0600V

    定時長度

    65000

    啟動時間

    110

    電源要求

    DC:5V(±10%) *大電流 400mA

    分辨率

    ±0.03Hz(5-6MHz),0.0136? /測量()

    測量精度

    ±0.5%厚度+1計數

    測量周期

    100mS1S/次(可設置)

    測量范圍

    500,000 ? ()

    晶體頻率

    6MHz

    通訊接口

     RS-232/485串行接口

    顯示位數

    8LED顯示

    分子泵

    分子泵抽速

    80L/S

    額定轉速

    65000rpm

    振動值

    0.1um

    啟動時間

    4.5min

    停機時間

    <7min

    冷卻方式

    風冷

     

    冷卻水溫度

    37

    冷卻水流速

    1L/min

    安裝方向

    垂直±5°

    抽氣接口

    150CF

    排氣接口

    KF40

    前級泵

    抽氣速率

    1.1L/S(VRD-4)

    極限真空

    5×10-2Pa

    供電電源

    AC:220V/50Hz

    電機功率

    400W

    噪音

    56db

    抽氣接口

    KF40

    排氣接口

    KF25

    放氣閥

    真空腔體上裝有氣動電控放氣閥

    整機極限真空

    5×10-4Pa

    真空腔體升壓率

    2.5Pa/h

    軟件系統

    監控管理軟件1

    測試靶材

    直徑2英寸厚度3mm的銅靶材2


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